Инжиниринговый химико-технологический центр ТГУ ввел в эксплуатацию линию по выпуску бромистого водорода (HBr), обещая удовлетворить все потребности отечественных электронных предприятий.
Прорыв в Томске: Собственное производство HBr
На базе Инжинирингового химико-технологического центра (ИХТЦ) Томского государственного университета успешно стартовало производство сверхчистого бромистого водорода. Ключевая задача вещества – обеспечение идеальной чистоты кремниевых пластин при изготовлении электронных компонентов. Плановая мощность линии составляет 650 кг в год продукта чистотой 99,999% (класс 5N).
«Чистота HBr критически важна для микроэлектроники, – подчеркивает руководитель проекта Ася Водянкина. – Любые, даже минимальные примеси способны дестабилизировать технологический процесс или повредить дорогостоящее оборудование».
Большим достижением стало создание уникальной для России аналитической системы для контроля чистоты. Эта система обладает высокой точностью и выявляет мельчайшие следы критических примесей: хлороводорода, влаги, металлов.
Технологическая независимость и перспективы
Технология ТГУ позволяет гибко масштабировать выпуск бромистого водорода под растущие нужды электронной отрасли. Запуск этой линии означает стабильное снабжение микроэлектроники сверхчистым HBr российского производства.
Раньше критически важные поставки HBr осуществлялись из-за границы (Китай, Европа). Новая отечественная технология, разработанная химиками ИХТЦ ТГУ с использованием исключительно российских реагентов, кардинально снижает импортную зависимость.
В рамках активной программы по разработке перспективных сверхчистых химикатов ИХТЦ уже освоил производство тетракис(диметиламино)титана (TDMAT), а к концу 2025 года планирует внедрить выпуск уникального трибромида бора чистотой 99,99995%.
Реализация программы Минпромторга
Производство высокочистого бромистого водорода – стратегический шаг по поручению Министерства промышленности и торговли, в рамках федеральной программы развития электронного машиностроения до 2030 года. Вещество уже поставляется ключевым российским производителям микроэлектроники: АО «Микрон», АО «ОКБ Планета», АО «ВЗПП — Микрон», АО «Ангстрем».
Минпромторг активно финансирует проекты по локализации производства необходимых для микроэлектроники химических реагентов, включая HBr. ТГУ и ИХТЦ тесно сотрудничают с министерством в разработке дальновидной стратегии развития химической отрасли России до 2035 года, формируя дорожную карту для технологического суверенитета страны.
